一、產品介紹：

CIF推出全新一代實驗室型等離子體清洗設備，傳統等離子體清洗設備設計理念，可中試生產、模擬生產條件，幾乎具備等離子體清洗設備所有的功能。采用頂置真空倉，上開蓋下壓式鉸鏈開關方式，上置式360度自由取放樣品托盤設計，具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積，使用成本低，性價比高，處理快速高效，特別適合于大學，科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。               

二、產品特點

u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動監測工藝參數狀態，20個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數據，機器運行、停止提示。

u PLC工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

u 石英真空倉，真空管路系統采用316不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。

u 采用質量流量計實現對氣體輸入精準控制，改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

u HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

u 60度傾角操作界面設計，符合人體功能學，操作方便，界面友好。

u 頂置真空倉，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式，開關蓋方便。

u 采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

u 上置式360度自由水平取放樣品托盤設計，符合人體功能學，操作更方便。

u 有效清洗面積大，可清洗直徑8寸硅片。

u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品，進行清洗和改性。

u 安全保護，倉門打開，自動關閉電源。

三、技術參數